半导体设备行业事件点评报告：国产高端设备加速突破 AI推动先进工艺产能显著扩张

　　AI 正推动先进工艺产能显著扩张，同时国内半导体产业链正致力于提升算力芯片的国产化率。当前国产半导体设备厂商高端新品持续突破，量产规模不断增加，在自主可控的强需求下有望迎来新一轮结构性机遇。　　中微公司预计25H1 营收约49.61 亿元，同比增长约43.88%，其中刻蚀设备收入增长约40.12%达37.81 亿元，LPCVD 薄膜设备收入增长约608.19%达1.99 亿元；归母净利润6.8-7.3 亿元，同比增长31.61%-41.28%；扣非归母净利润5.1-5.6 亿元，同比增长5.54%-15.89%；毛利率约39.84%。单季度看，预计25Q2 营收约27.87 亿元，同比增长约51.26%，环比增长约28.24%；归母净利润3.67-4.17 亿元，同比增长37.14%-55.82%，环比增长17.20%-33.17%；扣非归母净利润2.12-2.62 亿元，同比增长-3.90%-18.80%，环比减少12.27%-29.03%，主要系对外股权投资产生公允价值变动收益和投资收益同环比均有所增长。　　拓荆科技预计25Q2 营收12.1-12.6 亿元，同比增长52%-58%，环比增长71%-78%；归母净利润2.38-2.47 亿元，同比增长101%-108%，环比增长3.85-3.94 亿元；扣非归母净利润2.15-2.24 亿元，同比增长235%-249%，环比增长3.95-4.04 亿元。利润同环比均大幅增长主要系1）新产品验证机台完成技术导入并实现量产突破和持续优化，25Q2 毛利率环比大幅改善，呈现稳步回升态势；2）期间费用率同比下降，规模效应进一步释放利润空间。　　高端新品量产规模持续扩大，先进工艺扩产需求旺盛：中微公司表示公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。　　中微公司LPCVD 薄膜设备可满足先进逻辑器件、DRAM 和3D NAND 中接触孔以及金属钨线的填充应用需求，25H1 收入增长约608.19%达1.99 亿元，加速放量。拓荆科技先进制程的验证机台已顺利通过客户认证，逐步进入规模化量产阶段。基于新型设备平台（PF-300T Plus 和PF-300M）和新型反应腔（pX 和Supra-D）的PECVD Stack（ONO 叠层）、ACHM 及PECVD Bianca 等先进工艺设备，陆续通过客户验收，量产规模不断增加；ALD 设备25Q2 收入超2024 全年收入。拓荆科技PE-ALD 设备高温、低温、高质量SiO2、SiN、SiCO 等介质薄膜工艺设备均已实现产业化应用，广泛应用于芯片填孔（Gapfill）、侧墙（Spacer）、衬垫层（Liner）等工艺中，Thermal-ALD Al2O3、AlN 等工艺设备持续出货至客户端。　　根据SEMI 数据，全球7nm 及以下先进工艺月产能预计从2024 年的85 万片增长至2028 年的140 万片，CAGR 约为14%，是行业平均水平的两倍；2nm及以下工艺月产能将从2025 年的不足20 万片快速增长到2028 年的超50万片，反映了在先进制造中AI 应用推动的强劲市场需求。设备支出方面，SEMI 预计先进工艺设备支出2028 年将超500 亿美元，2024 年-2028 年CAGR为18%。　　自主可控迫在眉睫，产业链充分受益：当前国内半导体产业链从上游的设备与材料到中游的半导体制造再到下游的先进封装，均致力于提升算力芯片的国产化率。沐曦股份表示，其在研训推一体产品曦云C600 正在基于国产供应链推进。摩尔线程表示，正与国内Foundry 联合开发FinFET 工艺设计套件（PDK），开展GPU 关键模块的技术研发和流片验证，并联合国内封装　　测试厂商，完成Chiplet 与2.5D 封装（国产硅中介层）量产和测试，提升互联密度、性能、降低功耗，实现先进封装测试国产化。尽管基于新工艺节点的新产品良率爬坡需要一定时间的积累，但随着国产算力芯片及集群的性能通过软件算法及硬件迭代逐步接近海外大厂，有望带动半导体产业链国产化新一轮结构性机遇。　　建议关注：北方华创、华海清科、中微公司、芯源微、拓荆科技、中科飞测、盛美上海、微导纳米等。　　风险提示：行业与市场波动风险，国际贸易摩擦风险，新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，晶圆厂产能扩张进度不及预期风险，行业竞争加剧风险。 【免责声明】本文仅代表第三方观点，不代表和讯网立场。投资者据此操作，风险请自担。

   【免责声明】本文仅代表第三方观点，不代表和讯网立场。投资者据此操作，风险请自担。

【广告】本文仅代表作者本人观点，与和讯网无关。和讯网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。邮箱：